| 非球面零件光学检测技术研究 |
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| 引用本文： | 程灏波,王英伟.非球面零件光学检测技术研究[J].航空精密制造技术,2004,40(4):8-10. |
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| 作者姓名： | 程灏波 王英伟 |
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| 作者单位： | 清华大学精仪系,北京,100084;清华大学精仪系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目50175062，国家863高技术项目基金2001AA421140 |
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| 摘 要： | 针对非球面零件光学级检测技术进行广泛探讨,并针对课题研究中一抛物面镜实例,设计出实用型Dall补偿器,经优化后,保证检测面形精度达到0.004λλ=632.8nm。
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| 关 键 词： | 非球面 干涉法检测 Dall补偿器 |
| 文章编号： | 1003-5451(2004)04-0008-03 |
| 修稿时间： | 2003年9月19日 |
Research on Testing Technology for Aspheric |
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| CHENG Hao-bo,WANG Ying-wei.Research on Testing Technology for Aspheric[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2004,40(4):8-10. |
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| Authors: | CHENG Hao-bo WANG Ying-wei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | aspheric interferometry Dall compensator |
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