| 基于有限元分析的纳米级微进给工作台的设计 |
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| 引用本文： | 张强,卢泽生.基于有限元分析的纳米级微进给工作台的设计[J].航空精密制造技术,2005,41(1):6-9. |
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| 作者姓名： | 张强 卢泽生 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学机电学院,哈尔滨,150001 |
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| 摘 要： | 采用平行板移动副设计了压电陶瓷驱动纳米级微进给工作台。用有限元方法系统的分析了铰链的各个几何参数对工作台的静、动态特性的影响。举例给出了如何来利用有限元方法选择铰链尺寸,使工作台各性能参数均满足设计要求。
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| 关 键 词： | 微进给工作台 柔性铰链 有限元 |
| 文章编号： | 1003-5451(2005)01-0006-04 |
| 修稿时间： | 2004年7月15日 |
Design of Nanopositioner Stage Based on Finite Element Analysis |
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| ZHANG Qiang,LU Ze-sheng.Design of Nanopositioner Stage Based on Finite Element Analysis[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2005,41(1):6-9. |
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| Authors: | ZHANG Qiang LU Ze-sheng |
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| Abstract: | Using parallel board, a nanopositioner stage driven by piezoelectric ceramics (PZT) is designed. The influence of flexure hinges on the static and dynamic performance of micro-feed stage based on finite element methods is analyzed. The procedure is developed by which we can determine the geometrical dimensions of flexure hinges, in order to achieve the desired performance parameters of the stage. |
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| Keywords: | nanopositioner stage flexure hinge finite element method |
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