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| 精密工作台重复精度的测量 | |
| 引用本文： | 邵达友,娄菁林,马涛.精密工作台重复精度的测量[J].航空精密制造技术,1995(4). |
| 作者姓名： | 邵达友 娄菁林 马涛 |
| 作者单位： | 清华大学，北京工业大学 |
| 摘 要： | 论述了亚微米精度工作台动态重复精度测量的新原理及方法．其精度达±０．０２～±０．０８μｍ． |
| 关 键 词： | 精密工作台，光电显微镜，双频干涉仪 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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