| 基于AFM电场诱导氧化的纳米加工 |
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| 引用本文： | 郑丽芬,胡晓东,胡小唐.基于AFM电场诱导氧化的纳米加工[J].航空精密制造技术,2003,39(5):1-2. |
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| 作者姓名： | 郑丽芬 胡晓东 胡小唐 |
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| 作者单位： | 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072 |
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| 摘 要： | 研究利用STM/AFM进行电场诱导氧化加工以及环境(特别是湿度)对纳米加工的影响。通过理论推导得出生成氧化物的线宽与探针偏压有着密切的联系,分析了偏压和场强对氧化速度的影响,比较了相对湿度分别为53%和92%时的加工结果,并在理论上论述了温度对加工的影响。
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| 关 键 词： | AFM 电场诱导氧化 阳极氧化 温度 湿度 |
| 文章编号： | 1003-5451(2003)05-0001-02 |
| 修稿时间： | 2002年9月26日 |
Nanofabrication Based on Field-induced Oxidation by AFM |
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| ZHENG Li-fen,HU Xiao-dong,HU Xiao-tang.Nanofabrication Based on Field-induced Oxidation by AFM[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2003,39(5):1-2. |
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| Authors: | ZHENG Li-fen HU Xiao-dong HU Xiao-tang |
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| Abstract: | The application of field-induced oxidation theory by AFM using STM/AFM and the impact of environment (especially humidity)on nanofabrication are studied.The oxide width correlating with the bias voltage is obtained by theoretical deduction.The influences of the bias voltage and the field strength on oxidation rate are analyzed.The nanofabrication results at the relative humidity of53%and92%are compared.The effect of temperature on nanofabrication is presentedtheoretically |
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| Keywords: | AFM field-induced oxidation anodization temperature humidity |
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