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| 纳米技术的发展及趋势 | |
| 引用本文： | 嵇钧生.纳米技术的发展及趋势[J].航空精密制造技术,1995(6). |
| 作者姓名： | 嵇钧生 |
| 作者单位： | 中国航空精密机械研究所 |
| 摘 要： | 介绍了与超大规模集成电路、微机械以及高密光盘制造等高精技术领域密切相关的一项新技术概念──纳米技术．文章详细叙述了纳米技术的历史、基本概念及现状，并对其未来发展趋势作了评述． |
| 关 键 词： | 纳米技术，超精加工，微型机械，超大规模集成电路，原子微粒加工 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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