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| 复色差动共焦扫描测量 | |
| 引用本文： | 刘俭.复色差动共焦扫描测量[J].航空精密制造技术,2008,44(3). |
| 作者姓名： | 刘俭 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所 |
| 摘 要： | 共焦点扫描测量技术是微光学、微机械、微电子领域中测量三维微细结构、微台阶、微沟槽宽度、深度等结构参数的重要技术手段之一。目前,在传统共焦扫描成像技术基础上已经发展演变出双光子荧 |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |
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