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| 平面度的在线检测及补偿方法的研究 | |
| 引用本文： | 蔚文平.平面度的在线检测及补偿方法的研究[J].航空精密制造技术,1997(5). |
| 作者姓名： | 蔚文平 |
| 作者单位： | 中国航空精密机械研究所 |
| 摘 要： | 叙述运用四测头进行在线测量，采用最小二乘逐次两点法将工件形状误差和导轨运动副误差分离出来，采用电致伸缩陶瓷元件设计了一套补偿用微量位移装置，根据分离出来的导轨运动副误差，由FAGOR8025M控制器产生控制电压控制砂轮进给的位移量，进行在线补偿加工。分离平面度重复精度优于4％，微量进给装置的位移分辨率可达0.01μm。 |
| 关 键 词： | 在线测量 最小二乘逐次两点法 电致伸缩陶瓷 位移分辨率 |
A Study on the On-line Measurement and Control-compensated Approach for the Flatness |
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| Wei Wenping.A Study on the On-line Measurement and Control-compensated Approach for the Flatness[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,1997(5). | |
| Authors: | Wei Wenping |
| Institution: | Wei Wenping |
| Abstract: | |
| Keywords: | on-line measurement least-square serial two-point method electrostrictive ceramic resolution of micro-displacement |
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