应用于超精密测量的电容传感器

针对用调频测量法的电容传感器在实际使用中存在的体积大，漂移大等问题提出了一系列的解决办法，并对改进后的传感器进行长短期稳定性实验及标定。实验结果表明，在体积大大减少的情况下，分辨率及稳定性都保持相当好的水平，同时也给出了一种测量传感器输出频率的新颖的高速计数电路。