| 非接触式超精密研磨技术 |
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| 引用本文： | 吴明根.非接触式超精密研磨技术[J].航空精密制造技术,1993(2). |
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| 作者姓名： | 吴明根 |
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| 作者单位： | 中国航空精密机械研究所 |
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| 摘 要： | 名古屋工业技术研究所SP46型非接触式研磨机,研磨盘与工作轴以20～200r/min的转速作同向、高精度旋转,工作悬浮在研磨盘上,在研磨液的化学作用及微细粉末粒子的撞击下产生研磨作用。轴系皆采用液体动静压轴承,可加工Φ170mm的工件。该机可加工出表面粗糙度为2nm的硅片,加工Φ100mm、厚度为30mm的BK7光学玻璃,平面度为0031μm,表面粗糙度(均方根偏差)可达0.0038μm。特别适合微电子功能材料及光学平面的超精密加工,具有广阔的应用前景。
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| 关 键 词： | 非接触 超精密研磨 |
Non-Contact Ultraprecision Lapping-Investigation on Japanses Ultraprecision Machining Technology part 4 |
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| Wu Minggen.Non-Contact Ultraprecision Lapping-Investigation on Japanses Ultraprecision Machining Technology part 4[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,1993(2). |
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| Authors: | Wu Minggen |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | non-contact ultraprecision lapping |
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