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面向无人机的单芯片惯性测量组合
引用本文:蒋庆华,苑伟政,常洪龙.面向无人机的单芯片惯性测量组合[J].航空工程进展,2010,1(1):99-102.
作者姓名:蒋庆华  苑伟政  常洪龙
作者单位:西北工业大学,微/纳米系统实验室,西安,710072
基金项目:国家高技术研究发展计划(863计划)
摘    要:针对无人机对惯性测量组合的小尺寸、轻重量的需求,设计实现了芯体为1cm3的微小型单芯片的硅微惯性测量组合。论文提出了一种基于体硅深刻蚀—玻璃键合工艺的单芯片惯性测量组合结构,该结构集成了六个异构的单轴惯性器件,可实现运动载体的六自由度运动信息测量。单芯片惯性测量组合中的陀螺器件两个模态的的振动频率实现了较好的匹配,加速度计器件分辨率达到了0.93mg。测试结果表明该单芯片惯性测量组合有望实现高精度的惯性量测量,在无人机上有很好的应用前景。

关 键 词:单芯片惯性测量组合  惯性测量组合  微机电系统  微机械陀螺  微加速度计

Single Chip Micro Inertial Measurement Unit for Unmanned Air Vehicle(UAV)
Jiang Qinghua,Yuan Weizheng,Chang Honglong.Single Chip Micro Inertial Measurement Unit for Unmanned Air Vehicle(UAV)[J].Advances in Aeronautical Science and Engineering,2010,1(1):99-102.
Authors:Jiang Qinghua  Yuan Weizheng  Chang Honglong
Institution:(Micro/Nano System Laboratory,Northwestern Polytechnic University,Xi’an 710072,China)
Abstract:针对无人机对惯性测量组合的小尺寸、轻重量的需求,设计实现了芯体为1cm3的微小型单芯片的硅微惯性测量组合。论文提出了一种基于体硅深刻蚀—玻璃键合工艺的单芯片惯性测量组合结构,该结构集成了六个异构的单轴惯性器件,可实现运动载体的六自由度运动信息测量。单芯片惯性测量组合中的陀螺器件两个模态的的振动频率实现了较好的匹配,加速度计器件分辨率达到了0.93mg。测试结果表明该单芯片惯性测量组合有望实现高精度的惯性量测量,在无人机上有很好的应用前景。
Keywords:single chip micro inertial measurement unit  inertial measurement unit  MEMS  microgyroscope  microaccelerator
本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录!
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