| 石墨表面CVD SiC涂层微观结构研究 |
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| 引用本文： | 黄浩,陈大明,仝建峰,李宝伟.石墨表面CVD SiC涂层微观结构研究[J].航空材料学报,2008,28(2):50-54. |
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| 作者姓名： | 黄浩 陈大明 仝建峰 李宝伟 |
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| 作者单位： | 北京航空材料研究院,先进复合材料国防科技重点实验室,北京,100095 |
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| 摘 要： | 研究CH3SiCl3-H2-Ar体系中在石墨表面化学气相沉积SiC涂层工艺,并对涂层形貌进行SEM分析。考察沉积温度、气体比例、气体流量以及稀释气体含量对化学气相沉积SiC涂层的显微结构的影响。结果表明,在温度1100℃,H2∶MTS=5∶3,气体流量8L/min,稀释气体1L/min时,制备的涂层致密光滑。其中涂层的形貌对温度最敏感,当沉积温度达到1100℃时,CVD SiC涂层表面致密且光滑。
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| 关 键 词： | 化学气相沉积 SiC涂层 |
| 文章编号： | 1005-5053(2008)02-0050-05 |
| 修稿时间： | 2007年7月2日 |
Microstructure Study of the SiC Coatings on Graphite by CVD |
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| HUANG Hao,CHEN Da-ming,TONG Jian-feng,LI Bao-wzei.Microstructure Study of the SiC Coatings on Graphite by CVD[J].Journal of Aeronautical Materials,2008,28(2):50-54. |
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| Authors: | HUANG Hao CHEN Da-ming TONG Jian-feng LI Bao-wzei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | CVD SiC coating |
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