| 沉积温度对TiB_2涂层的组成与形貌的影响 |
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| 引用本文： | 陈大军,吴护林,张隆平,孙彩云,李忠盛,何庆兵.沉积温度对TiB_2涂层的组成与形貌的影响[J].航空材料学报,2009,29(3):50-54. |
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| 作者姓名： | 陈大军 吴护林 张隆平 孙彩云 李忠盛 何庆兵 |
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| 作者单位： | 中国兵器工业第五九研究所,重庆,400039 |
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| 摘 要： | 利用TiCl4-BCl3 -H2-Ar反应体系,用化学气相沉积法(CVD)在石墨基体上沉积了TiB2涂层,并对涂层的物相、沉积速率、微观结构、表面形貌进行了分析.结果表明:沉积的涂层物相由TiB2组成.随着沉积温度的提高,沉积速率加快,涂层的显微硬度先增加后降低,950℃时达到最大值.沉积温度的升高,TiB2涂层颗粒尺寸明显增大,在900℃～950℃范围内能沉积出结构致密、颗粒尺寸适合的TiB2涂层.分析了TiB2涂层的沉积机理.
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| 关 键 词： | 化学气相沉积 涂层形貌 物相组成 |
Effect of Deposition Temperature on Composition and Morphology of TiB_2 Coating |
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| CHEN Da-jun,WU Hu-lin,ZHANG Long-ping,SUN Cai-yun,LI Zhong-sheng,HE Qing-bing.Effect of Deposition Temperature on Composition and Morphology of TiB_2 Coating[J].Journal of Aeronautical Materials,2009,29(3):50-54. |
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| Authors: | CHEN Da-jun WU Hu-lin ZHANG Long-ping SUN Cai-yun LI Zhong-sheng HE Qing-bing |
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| Institution: | No.59 Institute of China Ordnance Industry;Chongqing 400039;China |
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| Keywords: | TiB2 |
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