| 退火工艺对磁控溅射LiCoO2薄膜形貌与力学性能的影响 |
| |
| 引用本文： | 马一博,陈牧,颜悦,张晓锋,刘伟明,李佳明,张旋.退火工艺对磁控溅射LiCoO2薄膜形貌与力学性能的影响[J].航空材料学报,2019,39(6). |
| |
| 作者姓名： | 马一博 陈牧 颜悦 张晓锋 刘伟明 李佳明 张旋 |
| |
| 作者单位： | 中国航发北京航空材料研究院 透明件研究所,北京 100095;北京市先进运载系统结构透明件工程技术研究中心,北京 100095;中国航发北京航空材料研究院 透明件研究所,北京 100095;北京市先进运载系统结构透明件工程技术研究中心,北京 100095;中国航发北京航空材料研究院 透明件研究所,北京 100095;北京市先进运载系统结构透明件工程技术研究中心,北京 100095;中国航发北京航空材料研究院 透明件研究所,北京 100095;北京市先进运载系统结构透明件工程技术研究中心,北京 100095;中国航发北京航空材料研究院 透明件研究所,北京 100095;北京市先进运载系统结构透明件工程技术研究中心,北京 100095;中国航发北京航空材料研究院 透明件研究所,北京 100095;北京市先进运载系统结构透明件工程技术研究中心,北京 100095;中国航发北京航空材料研究院 透明件研究所,北京 100095;北京市先进运载系统结构透明件工程技术研究中心,北京 100095 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家自然科学基金 |
| |
| 摘 要： | 采用磁控溅射方法在单晶Si(100)上制备LiCoO_2薄膜并选择不同退火温度、保温时间和退火气氛对薄膜进行热处理,研究不同退火条件对LiCoO_2薄膜形貌、组成、晶体结构和力学性能的影响。结果表明:退火过程将LiCoO_2薄膜表面粗糙度从11.63 nm降低至6.13 nm,且退火气氛对LiCoO_2薄膜表面形貌影响最大;LiCoO_2薄膜退火产生Li_2O、CoO、Co_3O_4等副产物,薄膜组成被破坏;任一退火条件均能使LiCoO_2薄膜结晶,平均晶粒尺寸约为30 nm,退火温度对LiCoO_2薄膜晶粒尺寸和残余应力影响最大;LiCoO_2薄膜退火后,其硬度H、杨氏模量Er增大一个数量级,最优退火工艺下(600℃,60 min,纯O_2气氛),H~3/E_r~2比例为0.03 GPa,抵抗塑性变形能力好。
|
| 关 键 词： | LiCoO2薄膜 表面形貌 硬度 杨氏模量 摩擦因数 |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
