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| 基于细胞自动控制算法的硅各向异性湿法刻蚀物理仿真 | |
| 引用本文： | 林国树,李晓莹,乔大勇,苑伟政.基于细胞自动控制算法的硅各向异性湿法刻蚀物理仿真[J].航空制造技术,2006(8):80-82. |
| 作者姓名： | 林国树 李晓莹 乔大勇 苑伟政 |
| 作者单位： | 西北工业大学微/纳米系统实验室 |
| 摘 要： | 应用细胞自动控制算法对硅湿法刻蚀进行物理仿真,按硅原子晶体结构构建细胞单元,以原子共价键连接状态和相邻细胞的状态来判断刻蚀中某个细胞是否去除或者保留,最后获得与理论分析相符的仿真结果. |
| 关 键 词： | 各向异性 细胞自动控制 湿法刻蚀 物理仿真 |
Cellular Automatic Control Algorithm-Based Anisotropic Silicon Wet Etching Physical Simulation |
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| Keywords: | |
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