金属离子注入表面优化技术

离子注入材料表面优化技术首先是由氮离子注入改善金属材料表面耐磨性开始的,其研究开发和工业应用已有近20年的历史。此技术在许多领域得到成功的应用,受到许多国家的高度重视。 80年代以来,金属元素(如Ti、Zr、V、Nb、Mo等过渡金属和Y、Ce等稀土金属)离子注入材料表面优化研究将此技术推进到一个新阶段。已经取得的研究和应用结果表明,金属离子注入可以综合地改善材料表面的多种性能,如耐磨、润滑、耐蚀、抗疲劳等,比氮离子注入的表面改性效果更加有效,其应用范围也更广泛。 金属离子注入材料表面优化技术的基本过程和工作原理,概括地说就是一台离子注入机产生100keV量级能量的离子束,再将载能的离子束打到需要优化处理的材料表面,引起材料表面层内成分、结构和性能的变化,以改善材料表面的耐磨、润滑、耐蚀、抗疲劳等性能。