控制电子束高频偏转扫描的电磁系统仿真及设计

采用ANSYS模拟软件对多极靴偏转线圈结构及其参数进行了仿真,结果表明:极靴越多,线圈中间的空间磁场越均匀。综合考虑线圈的磁场分布、加工难度、制作成本等因素,设计了以铁氧体为磁芯材料的十二极靴偏转线圈,并检测了该偏转线圈的高频响应特性,试验结果表明,所研制线圈可以在100k Hz以上的高频工作。