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双频激光测量系统在超精密机床中的应用
引用本文:杨星,袁哲俊.双频激光测量系统在超精密机床中的应用[J].航空制造技术,1998(1):33-34.
作者姓名:杨星  袁哲俊
作者单位:哈尔滨工业大学
摘    要:高精度的激光干涉测量系统是精密位移测量的决定性因素。本文介绍一种自行研制的双频激光测量系统。

关 键 词:双频激光  超精密机床  多普勒效应
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