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雷达用高深宽比金属铜微通道散热器的制作
引用本文:李晓军,吕辉,朱和卿,赵雯,杜立群.雷达用高深宽比金属铜微通道散热器的制作[J].航空制造技术,2019,62(1).
作者姓名:李晓军  吕辉  朱和卿  赵雯  杜立群
作者单位:大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连,116024;中国电子科技集团公司第十四研究所,南京,210039
基金项目:国家自然科学基金;国家自然科学基金;大连理工大学创新团队项目
摘    要:

关 键 词:金属微通道  胶厚均匀性  胶厚测量  紫外光刻  雷达
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