雷达用高深宽比金属铜微通道散热器的制作 |
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引用本文: | 李晓军,吕辉,朱和卿,赵雯,杜立群.雷达用高深宽比金属铜微通道散热器的制作[J].航空制造技术,2019,62(1). |
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作者姓名: | 李晓军 吕辉 朱和卿 赵雯 杜立群 |
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作者单位: | 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连,116024;中国电子科技集团公司第十四研究所,南京,210039 |
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基金项目: | 国家自然科学基金;国家自然科学基金;大连理工大学创新团队项目 |
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摘 要: |
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关 键 词: | 金属微通道 胶厚均匀性 胶厚测量 紫外光刻 雷达 |
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