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| 电子束物理气相沉积技术及其应用现状 | |
| 引用本文： | 关春龙,李垚,赫晓东.电子束物理气相沉积技术及其应用现状[J].航空制造技术,2003(11):35-37. |
| 作者姓名： | 关春龙 李垚 赫晓东 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学复合材料研究所 |
| 摘 要： | 介绍了电子束物理气相沉积设备的结构、工艺特点及应用范围 ,并在此基础上介绍了电子束物理气相沉积技术在制备热障涂层、微层材料以及新型叶片等方面取得的应用成果 |
| 关 键 词： | 电子束物理气相沉积 热障涂层 微层材料 叶片 |
EB-PVD Technology and Its Application Status |
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