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| 微米与纳米级加工技术 | |
| 引用本文： | 朱荻.微米与纳米级加工技术[J].航空制造技术,2002(6):22-25. |
| 作者姓名： | 朱荻 |
| 作者单位： | 南京航空航天大学机电学院 |
| 摘 要： | 论述了微细刻蚀、LIGA、微细特种加工、纳米切削和基于扫描探针技术等微米、纳米级加工技术的原理、特点和发展 |
| 关 键 词： | 微细加工 纳米加工 精密 |
Micro and Nano Machining Technology |
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