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| 氮化钼基硬质涂层研究进展 | |
| 引用本文： | 张国光,李春,方前锋,刘庆,杨俊峰.氮化钼基硬质涂层研究进展[J].航空制造技术,2009(22). |
| 作者姓名： | 张国光 李春 方前锋 刘庆 杨俊峰 |
| 作者单位： | 1. 南昌航空大学材料科学与工程学院 2. 中国科学院固体物理研究所内耗与固体缺陷研究室 |
| 摘 要： | 利用直流反应磁控溅射技术,使用Mo与C、Si、Al、W的复合靶,在不锈钢和硅(100)衬底上分别制备了MoCN、MoSiN、MoAlN、MoWN涂层.利用XRD、XPS、SEM、HRTEM方法分析了薄膜的微观结构,利用纳米压痕技术和热重分析法测试了薄膜的硬度和抗氧化性能.研究结果表明,通过纳米复合化和固溶强化,可以大幅度提高MoN基硬质薄膜的硬度和抗氧化温度,说明MoN基硬质涂层具有较好的综合性能,可望在航空工业中得到广泛应用. |
| 关 键 词： | 磁控溅射 氮化钼 硬质薄膜 |
Development of MoN-Based Hard Coating |
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