微机械弹簧组中交叉轴耦合的解析模型

描述在不同运动方向之间耦合性的解析模型是通过使用能量法来进行推导的，并且在U形弹簧，蟹脚弹簧和螺旋弹簧中得到了验证。为了验证模型并且确定有效性的范围，对于每种弹簧类型的一定范围的弹簧尺寸都进行了有限单元法的分析。螺旋弹簧的模型于是就被包括在用于结点仿真的一个宏观模型之中。基于梁的仿真过程中使用宏观模型在仿真时间上的改进之处得到了评估。在一个加速度计结构中的交叉轴耦合也采用这个宏观模型进行仿真。