| 硅微陀螺平板结构的压膜阻尼研究 |
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| 引用本文： | 赵亭杰,穆京京,徐宇新,邢朝阳.硅微陀螺平板结构的压膜阻尼研究[J].导航与控制,2014(4):41-46. |
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| 作者姓名： | 赵亭杰 穆京京 徐宇新 邢朝阳 |
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| 作者单位： | 北京航天时代光电科技有限公司;中国航天科技集团公司研发部;北京航天时代光电科技有限公司;北京航天时代光电科技有限公司 |
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| 摘 要： | 压膜阻尼对硅微陀螺的精度具有重要影响。平板结构是硅微陀螺中一种典型结构，本文通过对雷诺方程的推导，得出平板在正弦规律小振幅刚性运动时的阻尼力解析式，并给出低频时阻尼系数的近似算法。利用Matlab和CoventorWare软件对运动平板的阻尼进行仿真计算，得出运动平板的阻尼系数和刚度系数,并分析平板参数对阻尼系数及刚度系数的影响。建立不同类型的带孔平板模型，通过比较可以看出，当阻尼孔按一定方式排列时，可以降低结构的阻尼。
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| 关 键 词： | 微结构仿真 平板运动 雷诺方程 压膜阻尼 阻尼孔 |
Study on the Squeeze-film Damping of the Plate Structure of the Silicon Micro-machined Gyroscope |
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| ZHAO Ting-jie,MU Jing-jing,XU Yu-xin and XING Chao-yang.Study on the Squeeze-film Damping of the Plate Structure of the Silicon Micro-machined Gyroscope[J].Navigation and Control,2014(4):41-46. |
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| Authors: | ZHAO Ting-jie MU Jing-jing XU Yu-xin and XING Chao-yang |
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| Institution: | Beijing Aerospace Times Optical-electronic Technology Co.,Ltd,;China Aerospace Science and Technology Corporation;Beijing Aerospace Times Optical-electronic Technology Co.,Ltd,;Beijing Aerospace Times Optical-electronic Technology Co.,Ltd, |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | silicon micro-machined gyroscope plate movement Reynolds equation squeeze-film damping damping holes |
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