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基于纳米颗粒润滑的单点金刚石刀具磨损抑制技术
引用本文:墨洪磊,郑家洛,兰洁,陈肖,许剑锋.基于纳米颗粒润滑的单点金刚石刀具磨损抑制技术[J].导航与控制,2021,20(2):74-79.
作者姓名:墨洪磊  郑家洛  兰洁  陈肖  许剑锋
作者单位:上海航天控制技术研究所,上海201109;华中科技大学机械科学与工程学院,武汉430074
摘    要:润滑是单点金刚石车削硬脆材料时的一个非常关键的因素,针对单点金刚石车床超精密加工单晶硅光学零件过程中刀具易磨损、加工精度一致性差等问题,提出了一种单点金刚石刀具磨损抑制技术,通过选用二硫化钼、石墨、铜、氧化铜等纳米颗粒作为润滑剂,在Ф25.4mm单晶硅平片上开展实验研究.结果表明,纳米颗粒的类型和质量分数对车削过程的润滑效果有明显的影响,使用质量分数为10%的纳米石墨颗粒作为润滑剂时,加工后零件表面质量最好.在车削加工5.067km后,单晶硅光学零件表面粗糙度优于25nm,刀具磨损量约5μm,该单点金刚石刀具磨损抑制技术是有效的.

关 键 词:单晶硅  单点金刚石车削  纳米颗粒润滑  刀具磨损抑制

Wear Suppression Technology of Single?point Diamond Tool Based on Nanoparticle Lubrication
MO Hong-lei,ZHENG Jia-luo,LAN Jie,CHEN Xiao,XU Jian-feng.Wear Suppression Technology of Single?point Diamond Tool Based on Nanoparticle Lubrication[J].Navigation and Control,2021,20(2):74-79.
Authors:MO Hong-lei  ZHENG Jia-luo  LAN Jie  CHEN Xiao  XU Jian-feng
Abstract:
Keywords:
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