| 微半球谐振陀螺技术研究进展 |
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| 引用本文： | 石岩,席翔,吴学忠,肖定邦.微半球谐振陀螺技术研究进展[J].导航与控制,2019(2):1-8. |
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| 作者姓名： | 石岩 席翔 吴学忠 肖定邦 |
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| 作者单位： | 国防科技大学智能科学学院，长沙 410073,国防科技大学智能科学学院，长沙 410073,国防科技大学智能科学学院，长沙 410073,国防科技大学智能科学学院，长沙 410073 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(编号：5157050462)；中国博士后科学基金(编号：2017M613319) |
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| 摘 要： | 微半球谐振陀螺是一种基于MEMS工艺实现高精度谐振结构制造,进而实现角速率或角度信号测量的新型振动式陀螺。该技术既有望继承传统半球谐振陀螺高精度、长寿命等优点，又兼具了微型化的技术优势，具有极大的发展潜力。目前，微半球谐振陀螺技术处于起步阶段，对其的研究重点主要集中于高精度谐振结构的制造技术。介绍了多种微半球谐振陀螺的制造方法，分析了其技术特点，并结合国内外微半球谐振陀螺技术的发展现状，对其未来发展趋势进行了阐述。
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| 关 键 词： | 惯性传感 谐振陀螺 MEMS技术 制造方法 |
Advance of Micro Hemispherical Resonator Gyroscope Technology |
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| SHI Yan,XI Xiang,WU Xue-zhong and XIAO Ding-bang.Advance of Micro Hemispherical Resonator Gyroscope Technology[J].Navigation and Control,2019(2):1-8. |
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| Authors: | SHI Yan XI Xiang WU Xue-zhong and XIAO Ding-bang |
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| Institution: | College of Intelligence Science and Engineering, National University of Defense Technology, Changsha 410073,College of Intelligence Science and Engineering, National University of Defense Technology, Changsha 410073,College of Intelligence Science and Engineering, National University of Defense Technology, Changsha 410073 and College of Intelligence Science and Engineering, National University of Defense Technology, Changsha 410073 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | inertial sensing resonator gyroscope MEMS technology manufacturing process |
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