| 微机械陀螺正交耦合误差静电力抑制的有限元仿真研究 |
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| 引用本文： | 窦茂莲,刘飞,林梦娜,郭中洋.微机械陀螺正交耦合误差静电力抑制的有限元仿真研究[J].导航定位于授时,2015(5):52-57. |
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| 作者姓名： | 窦茂莲 刘飞 林梦娜 郭中洋 |
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| 作者单位： | 北京自动化控制设备研究所,北京自动化控制设备研究所,北京自动化控制设备研究所,北京自动化控制设备研究所 |
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| 摘 要： | 微机械陀螺的正交耦合误差是敏感结构振动模态间的刚度耦合引起的检测模态输出偏量,是影响陀螺性能的关键误差源之一。静电力抑制是一种采用静电力调节驱动模态的主轴偏量,使用直流电压进行正交耦合误差抑制的方法,该方法具有片上实时抑制能力,能够有效抑制正交耦合误差。从静电力抑制正交耦合误差的基本原理出发,运用有限元仿真,对硅基音叉陀螺正交耦合误差的静电力抑制进行了仿真分析,并通过实物测试数据进行了验证。
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| 关 键 词： | 微机械陀螺 正交耦合误差 静电力抑制 有限元仿真 |
The FEM Analysis of Electrostatic-force Suppression of Quadrature Coupling Error in a MEMS Gyroscope |
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| DOU Mao-lian,LIU Fei,LIN Meng-na and GUO Zhong-yang.The FEM Analysis of Electrostatic-force Suppression of Quadrature Coupling Error in a MEMS Gyroscope[J].Navigation Positioning & Timing,2015(5):52-57. |
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| Authors: | DOU Mao-lian LIU Fei LIN Meng-na and GUO Zhong-yang |
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| Institution: | Beijing Institute of Automatic Control Equipment,Beijing Institute of Automatic Control Equipment,Beijing Institute of Automatic Control Equipment and Beijing Institute of Automatic Control Equipment |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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