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双离子束辅助沉积法制成良好的涂覆层
引用本文:徐映霞.双离子束辅助沉积法制成良好的涂覆层[J].惯导与仪表,1992(3):54-58.
作者姓名:徐映霞
摘    要:

关 键 词:双离子束  辅助沉积法  涂覆  涂层
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