一种优化微镜像素灰度提高数字光刻成像质量的方法

针对DMD数字光刻成像畸变问题,提出一种优化DMD微镜像素灰度值提高光刻成像质量的方法。将微镜像素的灰度值编码为0,1二进制位串,然后利用梯度下降法优化微镜像素的灰度。对矩形掩模图和T型掩模图进行仿真验证表明,两种图形的误差值(PE)分别下降了83.9%、80.5%,该方法可以较大程度地提高数字光刻成像质量。