| P型太阳能级硅电火花线切割机理及工艺研究 |
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| 引用本文： | 刘志东,邱明波,汪炜,田宗军,黄因慧.P型太阳能级硅电火花线切割机理及工艺研究[J].南京航空航天大学学报,2010,42(5). |
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| 作者姓名： | 刘志东 邱明波 汪炜 田宗军 黄因慧 |
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| 作者单位： | 南京航空航天大学机电学院,南京,210016 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，江苏省科技支撑项目，江苏省科技计划 |
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| 摘 要： | 根据半导体的特殊电性能建立了抽象的放电加工模型,该模型分别用二极管、可变电阻、稳压管、电阻等器件模型近似代表半导体与金属进电端的接触势垒、半导体的体电阻、极间放电的维持电压以及工作液电阻;根据所建立的模型分析发现,半导体电火花线切割具有单向导通性、击穿电压高等特点,并且加工过程中进电端会出现钝化现象.为此,研制了针对P型太阳能级硅切割的专用夹具,并对电阻率为2.1Ω·cm的P型太阳能级硅锭进行了电火花线切割,切割效率大于100 mm2/min.
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| 关 键 词： | 硅 太阳能 电火花 线切割 模型 |
Mechanism and Process of Wire-Cut Electrical Discharge Machine on P-Type Solar Silicon |
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| Liu Zhidong,Qiu Mingbo,Wang wei,Tian Zongjun,Huang Yinhui.Mechanism and Process of Wire-Cut Electrical Discharge Machine on P-Type Solar Silicon[J].Journal of Nanjing University of Aeronautics & Astronautics,2010,42(5). |
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| Authors: | Liu Zhidong Qiu Mingbo Wang wei Tian Zongjun Huang Yinhui |
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