| 大型清洁超高真空获得初探 |
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| 引用本文： | 张春元,许忠旭.大型清洁超高真空获得初探[J].航天器环境工程,2002,19(1):59-62. |
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| 作者姓名： | 张春元 许忠旭 |
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| 作者单位： | 北京卫星环境工程研究所,北京100029 |
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| 摘 要： | 文章介绍了3200m3大型真空容器的清洁高真空系统的方案配置和使用情况.说明低温泵和涡轮分子泵的结合使用,可以获得清洁的超高真空环境.
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| 关 键 词： | 真空系统、低温泵、分子泵 |
| 文章编号： | (2002)01-0059-04 |
| 收稿时间： | 1/7/2002 12:00:00 AM |
| 修稿时间： | 2002年1月7日 |
DISCUSSION OF TECHNIQUES OBTAINING LARGE CLEAN ULTRAHIGH VACUUM SYSTEM |
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| ZHANG Chun-yuan,XU Zhong-xu.DISCUSSION OF TECHNIQUES OBTAINING LARGE CLEAN ULTRAHIGH VACUUM SYSTEM[J].Spacecraft Environment Engineering,2002,19(1):59-62. |
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| Authors: | ZHANG Chun-yuan XU Zhong-xu |
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| Abstract: | The paper mainly discusses the disposition and use of the clean high vacuum system of a large vessel.It shows that using the combination of cryopump and turbo molecular pump can obtain large clean ultrahigh vacuum system. |
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| Keywords: | vacuum system cryopump turbo molecular pump |
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