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探针校准用ECR等离子体源特性试验研究
引用本文:邓星亮,张书锋,贾军伟,柴昊,王斌,高婷,李鹏,崔爽,李峥,郎昊,刘展.探针校准用ECR等离子体源特性试验研究[J].航天器环境工程,2020,37(6):602-609.
作者姓名:邓星亮  张书锋  贾军伟  柴昊  王斌  高婷  李鹏  崔爽  李峥  郎昊  刘展
作者单位:北京东方计量测试研究所,北京 100086;北京空间机电研究所,北京 100076
摘    要:

关 键 词:等离子体源  特征参数  重复性  均匀性  稳定性  试验研究
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