超精密加工技术(下)

四、设备、工装和测控 (一)超精密加工的设备与工艺装备 对超精密加工机床的一般要求: 1.高的回转精度和移动精度 主轴部件主要采用空气静压轴承或液体静压轴承(二者均可产生均化效应。但由于空气粘度小,摩擦小,前者精度比后者高,但承载能力小些),可用“三相交流感应式涡流电机”驱动主轴,以获得纯扭矩传动,移动则采用气浮导轨或液体静压导轨。可由“直线式感应伺服电机”,直接驱动滑板。