提高重铬酸铵—骨胶抗蚀图形精度的初步体会

文章对重铬酸铵——骨胶的感光机理进行了初步的讨论,结合生产实践对采用此种感光剂影响曝光图形精度诸因素逐一进行了分析。总结了提高图形精度的工艺措施,一是改进工艺配方增加氨水和十二烷基磺酸钠作添加剂,二是严格操作工艺,文章并给出了有关经验数据。