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半导体器件的过应力损伤
引用本文:
邓永孝.半导体器件的过应力损伤[J].航天制造技术,1995(3).
作者姓名:
邓永孝
作者单位:
西安微电子技术研究所
摘 要:
半导体器件的过应力损伤问题是危害电子产品可靠性的首要问题。过应力损伤包括电过应力损伤、机械过应力损伤和过高温度损伤。为减少半导体器件在使用现场发生失效,提高经济效益,详细地介绍了半导体器件在使用过程中易发生的过应力损伤。
关 键 词:
半导体器件,过应力损伤,失效
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