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| 球体半径超精测量系统研究 | |
| 引用本文： | 杨文国,赵维廉,等.球体半径超精测量系统研究[J].航天制造技术,2001(2):10-14. |
| 作者姓名： | 杨文国 赵维廉 等 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学，哈尔滨工业大学，哈尔滨工业大学，哈尔滨工业大学 |
| 摘 要： | 介绍球形工件曲率半径超精测量系统的测量原理，详细论述了该测量系统中采用的光路布局结构，并就半径测量中受环境影响引起的“状态差异误差”进行实时补偿实验。通过这些措施消除了“闲区误差”和“阿贝误差”，抑制了“状态差异误差”，提高了系统的测量精度和稳定性，该系统可同时进行面形测量。 |
| 关 键 词： | 光路布置 球径测量仪 闲区误差 球形工件 面形测量 |
| 修稿时间： | 2000年10月8日 |
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