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| 气相沉积技术的现状与发展 | |
| 引用本文： | 刘晓红,陈志勇,邓山江.气相沉积技术的现状与发展[J].北华航天工业学院学报,2006,16(3):26-28. |
| 作者姓名： | 刘晓红 陈志勇 邓山江 |
| 作者单位： | 1. 承德信息工程技术学校,理工系,河北,承德,067000 2. 北华航天工业学院,材料工程系,河北,廊坊,065000 3. 亚新科美联《廊坊》制动系统有限公司,河北,廊坊,065000 |
| 摘 要： | 本文阐述了气相沉积技术的发展和应用,概括了此技术在我国的现状,分析并展望其未来的发展,还注意到了研究领域中的动向和趋势. |
| 关 键 词： | 气相沉积 等离子 超硬覆层 |
| 文章编号： | 1009-2145(2006)03-0026-03 |
| 修稿时间： | 2006年4月3日 |
Current Situation and Development Trend of Vapor Deposition Technology |
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| LIU Xiao-hong,CHEN Zhi-yong,DENG Shan-jiang.Current Situation and Development Trend of Vapor Deposition Technology[J].Journal of North China Institute of Aerospace Engineering,2006,16(3):26-28. | |
| Authors: | LIU Xiao-hong CHEN Zhi-yong DENG Shan-jiang |
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