| AFM诱导氧化加工Si纳米氧化线的一致性和连续性的研究 |
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| 引用本文： | 宋晓辉,匡登峰,李艳宁,刘庆纲,胡小唐.AFM诱导氧化加工Si纳米氧化线的一致性和连续性的研究[J].航空精密制造技术,2005,41(2):49-50. |
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| 作者姓名： | 宋晓辉 匡登峰 李艳宁 刘庆纲 胡小唐 |
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| 作者单位： | 天津大学计量技术及仪器国家重点实验室,天津,300072 |
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| 基金项目： | 教育部天津大学南开大学科技合作项目 |
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| 摘 要： | 研究了在不同的偏置电压和扫描速度下加工的Si氧化线的一致性和均匀性,得到了加工高质量的Si氧化线的实验条件为:偏置电压8V,扫描速度1 μm/s。
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| 关 键 词： | AFM针尖诱导阳极氧化 Si氧化线 一致性 连续性 偏置电压 扫描速度 |
| 文章编号： | 1003-5451(2005)02-0049-02 |
| 修稿时间： | 2004年3月15日 |
Studies on Uniformity and Conformity of Silicon Oxidation Lines Obtained by AFM Induced Oxidation |
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| SONG Xiao-hui,KUANG Deng-feng,LI Yan-ning,et al.Studies on Uniformity and Conformity of Silicon Oxidation Lines Obtained by AFM Induced Oxidation[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2005,41(2):49-50. |
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| Authors: | SONG Xiao-hui KUANG Deng-feng LI Yan-ning |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | AFM tip induced anodic oxidation Si oxidation lines uniformity conformity biased voltage scanning speed |
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