| 临界反应距离法微细电化学高效加工大长径比微电极 |
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| 引用本文： | 彭子龙,刘聪.临界反应距离法微细电化学高效加工大长径比微电极[J].航空学报,2022,43(4):314-324. |
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| 作者姓名： | 彭子龙 刘聪 |
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| 作者单位： | 青岛理工大学 山东省增材制造工程技术研究中心,青岛 266520,青岛理工大学 工业流体节能与污染控制教育部重点实验室,青岛 266520 |
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| 基金项目： | 山东省自然科学基金;山东省自然科学基金重大基础研究项目;国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 提出了一种基于临界反应距离控制的微细电化学（μ-ECM）在线高效制备大长径比微电极方法，旨在解决大长径比微电极制备难题。采用强碱性电解液及微秒级电源，实现了钨电极的微米级精度可控去除。分析了微细电化学加工材料去除微观过程，仿真分析了两极距离变化条件下间隙电流密度变化，确定了基于临界反应距离精确控制材料去除的参数选择范围。建立了电极材料蚀除过程数学模型，得到了材料蚀除量的变化规律。进行了系统的工艺实验，研究了电压、脉宽、电解液浓度对微细电极材料去除率的影响规律。采用优化的工艺参数，得到了直径10μm、长径比大于200的微细电极，材料去除率最高可达2.7×10-2 mm3/min,加工效率较目前主流方法提高一个数量级。
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| 关 键 词： | 临界反应距离 微细电化学 微电极 大长径比 高效去除 |
Micro electrical chemical machining for efficient fabricating large aspect ratio micro electrodes by critical gap method |
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| PENG Zilong,LIU Cong.Micro electrical chemical machining for efficient fabricating large aspect ratio micro electrodes by critical gap method[J].Acta Aeronautica et Astronautica Sinica,2022,43(4):314-324. |
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| Authors: | PENG Zilong LIU Cong |
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