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| 超精密光学抛光研究的进展及其发展趋势 | |
| 引用本文： | 滕霖,任敬心.超精密光学抛光研究的进展及其发展趋势[J].航空精密制造技术,1996(3). |
| 作者姓名： | 滕霖 任敬心 |
| 作者单位： | 西北工业大学１００３教研室 |
| 摘 要： | 综述了对精密光学抛光影响精度和质量的因素，对重要因素目前的研究进展进行了分析；介绍了新型超精密光学抛光技术及其达到的水平；还提出了精密先学抛光的发展趋势． |
| 关 键 词： | 抛光，超精密 |
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