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| 基于Fabry-Perot干涉仪的闭环微光机电加速度计 | |
| 作者姓名： | 冯丽爽 刘惠兰 林恒 张春熹 |
| 作者单位： | 北京航空航天大学 仪器科学与光电工程学院, 北京 100083 |
| 摘 要： | 设计了一种闭环反馈差动式双FP腔的微光机电(MOEMS)加速度计,介绍了其工作原理及系统构成.利用惯性敏感单元将对载体加速度的测量转变为对载体位移的测量,利用光纤自聚焦透镜的端面与质量块组成的FP腔测量载体位移.为了提高系统的测量灵敏度和抑制温度等环境因素的影响,设计了一种差动式双FP腔测量机构.为提高微加速度计的输出线性度和动态测量范围,提出了采用静电力平衡技术构成闭环加速度计.建立了其数学模型,对所设计的加速度计重要参数指标——灵敏度、敏感头受载、固有频率等一一进行了详细计算和分析.在此基础上完成了设计背景要求下加速度计参数的优化设计,结果表明:该系统精度可以达到5×10-6g以上. |
| 关 键 词： | 微光机电系统 加速度计 法布里-珀罗干涉仪 闭环 |
| 文章编号： | 1001-5965(2006)06-0691-04 |
| 收稿时间： | 2005-06-27 |
| 修稿时间： | 2005-06-27 |
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