| 光学内反射测角方法及其在精密测试中的应用 |
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| 引用本文： | 李志刚,刘庆纲.光学内反射测角方法及其在精密测试中的应用[J].航空精密制造技术,2003,39(6):22-25. |
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| 作者姓名： | 李志刚 刘庆纲 |
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| 作者单位： | 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072 |
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| 基金项目： | 天津市自然基金(01360211)，教育部南开大学、天津大学科技合作项目 |
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| 摘 要： | 总结了基于光学内反射测角法的微小角度测量的基本原理、特性、发展现状以及其在精密测试中的应用。
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| 关 键 词： | 光学内反射 角度传感器 AFM 表面形貌测量 |
| 文章编号： | 1003-5451(2003)06-0022-04 |
| 修稿时间： | 2002年10月22 |
Method of Micro Angle Measurement Based on Internal-reflection Effect and Application in Precision Measurement |
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| LI Zhi-gang,LIU Qing-gang.Method of Micro Angle Measurement Based on Internal-reflection Effect and Application in Precision Measurement[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2003,39(6):22-25. |
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| Authors: | LI Zhi-gang LIU Qing-gang |
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| Abstract: | The basic principle, property and present status of micro angle mea surement based on internal-reflection effect as well as its application in the p recision measurement are concluded. |
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| Keywords: | optical internal-reflection angle sensor AFM surface topography measurement |
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