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在线精密测量用新型光电仪
引用本文:
Wolth.,A,杨光荣.在线精密测量用新型光电仪[J].宇航计测技术,1991(4):19-21.
作者姓名:
Wolth.
A
杨光荣
摘 要:
介绍一种新型高精密长度测量仪。使用一个光学自动聚焦头和一个无齿隙机械传动机构,其分辨力可达0.1μm;在40mm 测量范围内,其绝对准确度优于1μm。由于具有自动聚焦特性,它还能在线识别表面倾角和表面曲率。
关 键 词:
光电仪
在线测量
测量
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