非球面气囊抛光的材料均匀去除研究 |
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作者姓名: | 王朋 叶斯哲 张昊 回长顺 |
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作者单位: | 天津津航技术物理研究所,天津,300308;中国科学院海西研究院厦门稀土材料研究所,厦门,361021 |
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基金项目: | 天津市自然科学基金重点项目 |
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摘 要: | 对气囊抛光非球面表面材料去除均匀性进行了研究。根据Preston方程,分析了抛光磨头与零件转速比对去除函数分布的影响,并采用定点抛光试验对分析结果进行验证。在定点抛光表面去除速率分析的基础上,通过优化抛光磨头进给速度、合理控制驻留时间,实现材料表面均匀去除。采用该方法,对一口径为150mm的非球面进行抛光试验,抛光后面形误差趋势保持不变,功率谱密度高频分量明显降低,实现了对表面材料的均匀去除。
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关 键 词: | 超精密 光学加工 非球面 均匀去除 气囊抛光 |
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