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| 压电式快刀加工微透镜阵列的前馈控制算法研究 | |
| 引用本文： | 刘艺,王波,刘广润.压电式快刀加工微透镜阵列的前馈控制算法研究[J].航空精密制造技术,2019,55(5):12-15. |
| 作者姓名： | 刘艺 王波 刘广润 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨,150001 |
| 摘 要： | 根据压电陶瓷一般控制方法,针对微结构阵列加工中所面临的周期性驱动信号,提出了差值补偿法和多项式校正法两种修正非线性输出的前馈算法,并在压电式快刀装置上进行加工实验,结果表明采用多项式校正法的开环前馈控制算法可将输出位移的最大误差由6.455%降低至1.742%,可有效提高微结构阵列加工精度。 |
| 关 键 词： | 快刀伺服 压电促动器 非线性校正 微透镜阵列 |
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