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| 集成铁电学工艺的研究 | |
| 引用本文： | 苏学军,李岩.集成铁电学工艺的研究[J].海军航空工程学院学报,2002,17(4):480-482. |
| 作者姓名： | 苏学军 李岩 |
| 作者单位： | 1. 海军航空工程学院基础部: 2. 海军航空工程学院自动控制系,烟台,264001 |
| 摘 要： | 介绍集成铁电学的内容及发展,研究快速退火工艺对钛酸铋铁电薄膜铁电性、剩余极化强度、介电常数、绝缘性和介电损耗的影响. |
| 关 键 词： | 铁电性 极化强度 快速退火 介电常数 |
| 修稿时间： | 2002年5月21日 |
STUDY ON INTEGRATED FERROELECTRICS TECHNOLOGY |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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