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进动气囊抛光技术研究
作者姓名:张利鹏  杨辉  鲍龙祥  李静
作者单位:北京航空精密机械研究所精密制造技术航空科技重点实验室,北京,100076
基金项目:武器装备预研基金资助项目(编号:9140A18020307HK1301)
摘    要:为实现高精度的光学玻璃零件的加工,本文对进动气囊抛光关键技术进行了详细研究.首先介绍了进动气囊抛光设备及原理,通过对Preston方程的分析及工艺参数实验确定了抛光去除函数,并对驻留时间算法进行优化求解,通过MATLAB仿真验证残余误差在0.1 μm以内,最后对平面和球面玻璃进行了抛光实验,获得了面形PV值为0.18μm的球面表面,验证了驻留时间算法的合理性,满足光学玻璃元件精密加工的基本要求,为后续进行自由曲面的抛光提供了理论基础.

关 键 词:进动气囊抛光  去除函数  驻留时间  面形控制
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