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| 纳米金属氧化物气敏薄膜的最佳晶粒尺寸和介观效应 | |
| 作者姓名： | 李蕾 刘文利 高建华 裘南畹 |
| 作者单位： | 山东大学物理和微电子学院,山东大学物理和微电子学院,山东大学物理和微电子学院,山东大学物理和微电子学院 山东 济南 250061,山东 济南 250061,山东 济南 250061,山东 济南 250061 |
| 摘 要： | 纳米金属氧化物气敏薄膜存在灵敏度的最佳膜厚l*和最佳晶粒尺寸r0*,其值与材料和工艺有关.最佳晶粒尺寸的存在是一种新的介观效应,它来自晶粒尺寸缩小到一定程度时反映吸附氧负离子的Fermi统计失效;根据当晶粒尺寸缩小到特征长度rm时晶粒将保持电中性的Kubo理论对Fermi统计公式进行修正,从而给出了最佳晶粒尺寸r0*=2rm的结果,并用Kubo理论电子逸出功公式估算了rm与r0*的数值. |
| 关 键 词： | 晶粒尺寸 介观效应 Fermi统计 |
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