| Co扩散阻挡层模型的设计 |
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| 引用本文： | 霍晓,任家烈.Co扩散阻挡层模型的设计[J].航空材料学报,1996,16(4):30-33. |
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| 作者姓名： | 霍晓 任家烈 |
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| 作者单位： | 清华大学 |
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| 摘 要： | 通过对Ｃｏ扩散阻挡层在ＣＶＤ过程中冶金行为的理论分析，建立了计算Ｃｏ扩散阻挡层临界厚度δ临的数学模型。指出：阻挡层厚度δ≥δ临是抑制Ｃｏ对金刚石沉积不良影响的必要条件。
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| 关 键 词： | Co，扩散阻挡层，模型 |
DESIGN FOR A MODEL OF Co DIFFUSION BARRIER |
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| Huo Xiao, Ren Jialie, Lu Anti.DESIGN FOR A MODEL OF Co DIFFUSION BARRIER[J].Journal of Aeronautical Materials,1996,16(4):30-33. |
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| Authors: | Huo Xiao Ren Jialie Lu Anti |
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| Institution: | Tsinghua University |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | cobalt diffusion barrier model |
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