| 多层复合真空离子镀膜技术的新发展 |
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| 引用本文： | 王增福,陈步亮,范兵,张再鸣,李然.多层复合真空离子镀膜技术的新发展[J].航天器环境工程,2003,20(1):60-62. |
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| 作者姓名： | 王增福 陈步亮 范兵 张再鸣 李然 |
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| 作者单位： | 中国天瑞星真空技术开发有限公司,北京100029 |
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| 摘 要： | 本文介绍了利用多弧——磁控溅射多功能离子镀膜设备在氮化钛掺金离子镀(IPG)方面的典型应用,并对复合式离子镀膜设备的结构及特点做了介绍。
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| 关 键 词： | 离子镀 多层镀 |
| 文章编号： | (2003)01-0060-03 |
| 收稿时间： | 8/1/2002 12:00:00 AM |
| 修稿时间： | 2002年8月1日 |
NEW DEVELOPMENT OF ION COATING TECHNIQUES OF MULTI-LAYER FILM |
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| WANG Zeng-fu,CHEN Bu-liang,FAN Bing,ZHANG Zai-ming,LI Ran.NEW DEVELOPMENT OF ION COATING TECHNIQUES OF MULTI-LAYER FILM[J].Spacecraft Environment Engineering,2003,20(1):60-62. |
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| Authors: | WANG Zeng-fu CHEN Bu-liang FAN Bing ZHANG Zai-ming LI Ran |
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| Abstract: | The paper introduces the typical application of multi-arc and sputtering coating machine to TiN Au(IPG) coating. The structure and the feature of this kind of composite ion coating machine are given. |
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| Keywords: | ion plating multi-layer film |
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