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| 微机电系统技术及其在卫星中的应用 | |
| 引用本文： | 王晓海.微机电系统技术及其在卫星中的应用[J].中国航天,2007(3):35-38. |
| 作者姓名： | 王晓海 |
| 摘 要： | 一、微机电系统(MEMS)技术概述MEMS技术的术语近几年来不仅在传感器技术、测控技术和微电子技术领域频繁出现,也在航天技术领域中不断出现。 |
| 关 键 词： | 微机电系统技术 微电子技术 MEMS技术 机械加工技术 应用 卫星 器件尺寸 微型电机 |
MEMS Technology and Its Application in Satellites |
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